-
公开(公告)号：EP4136507A1
公开(公告)日：2023-02-22
申请号：EP21788320.6
申请日：2021-04-16
申请人： Entegris, Inc.
发明人： RASCHKE, Russ V. , WANG, Huaping
IPC分类号： G03F1/66 , H01L21/673
-
公开(公告)号：EP4423571A1
公开(公告)日：2024-09-04
申请号：EP22888061.3
申请日：2022-10-25
申请人： Entegris, Inc.
发明人： RASCHKE, Russ V.
IPC分类号： G03F1/66 , G03F1/22 , H01L21/673
CPC分类号： G03F1/66
-
公开(公告)号：EP4356196A1
公开(公告)日：2024-04-24
申请号：EP22825815.8
申请日：2022-06-16
申请人： Entegris, Inc.
IPC分类号： G03F1/66 , G03F1/22 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67359 , H01L21/67353 , H01L21/67366 , G03F1/66
-
公开(公告)号：EP4430659A1
公开(公告)日：2024-09-18
申请号：EP22893502.9
申请日：2022-11-07
申请人： Entegris, Inc.
发明人： RASCHKE, Russ V. , WISEMAN, Brian
IPC分类号： H01L21/673 , G03F1/66
CPC分类号： G03F1/66
-
公开(公告)号：EP4143873A1
公开(公告)日：2023-03-08
申请号：EP21795843.8
申请日：2021-04-29
申请人： Entegris, Inc.
发明人： RASCHKE, Russ V. , WANG, Huaping
IPC分类号： H01L21/673 , G03F1/66
-
-
公开(公告)号：EP4457857A1
公开(公告)日：2024-11-06
申请号：EP22917344.8
申请日：2022-12-29
申请人： Entegris, Inc.
IPC分类号： H01L21/673 , G03F1/66
-
公开(公告)号：EP4454000A1
公开(公告)日：2024-10-30
申请号：EP22912297.3
申请日：2022-12-13
申请人： Entegris, Inc.
发明人： RASCHKE, Russ V.
IPC分类号： H01L21/673 , G03F1/66
-
公开(公告)号：EP4399570A1
公开(公告)日：2024-07-17
申请号：EP22868052.6
申请日：2022-09-08
申请人： Entegris, Inc.
发明人： RASCHKE, Russ V. , ELWELL, Caleb , REBER, Matthew
IPC分类号： G03F1/66 , G03F7/20 , H01L21/673 , H01L21/677
CPC分类号： G03F1/66 , G03F7/70741
-
公开(公告)号：EP4081864A1
公开(公告)日：2022-11-02
申请号：EP20906261.1
申请日：2020-12-09
申请人： Entegris, Inc.
发明人： RASCHKE, Russ V.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
10 条记录 (耗时 0.009 秒)
