公开(公告)号：EP4437073A1

公开(公告)日：2024-10-02

申请号：EP22899318.4

申请日：2022-11-21

申请人： Entegris, Inc.

发明人： DAS, Atanu K. ,  WHITE, Daniela ,  WHITE, Michael L. ,  LIU, Jun ,  VERMA, Aditya Dilip

IPC分类号： C11D3/00 ,  C11D3/43 ,  C11D3/36 ,  C11D3/20 ,  C11D3/30 ,  C11D3/37 ,  C11D11/00

CPC分类号： H01L21/02074

公开(公告)号：EP4323491A1

公开(公告)日：2024-02-21

申请号：EP22788913.6

申请日：2022-04-14

申请人： Entegris, Inc.

发明人： LIU, Jun ,  WHITE, Michael L. ,  WHITE, Daniela ,  COOPER, Emanuel I.

IPC分类号： C11D3/36 ,  C11D3/30 ,  C11D3/20 ,  C11D3/04 ,  C11D3/00 ,  C11D11/00

公开(公告)号：EP4136273A1

公开(公告)日：2023-02-22

申请号：EP21787894.1

申请日：2021-04-14

申请人： Entegris, Inc.

发明人： DAS, Atanu K. ,  WHITE, Daniela ,  COOPER, Emanuel I. ,  HONG, Eric ,  YANG, JeongYeol ,  YEO, Juhee ,  WHITE, Michael L. ,  HONG, SeongJin ,  CHAE, SeungHyun ,  LIPPY, Steven A. ,  KIM, WonLae

IPC分类号： C23F1/38 ,  C23F11/14