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发明公开
PARTICLE-OPTICAL DEVICE AND DETECTION MEANS 有权
标题翻译：一个粒子检测装置和检测手段

公开(公告)号：EP1540692A4

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：EP03759297

申请日：2003-09-18

申请人： FEI CO

发明人： SCHOLTZ JACOB JOHANNES , KNOWLES WILLIAM RALPH , THIEL BRADLEY LAMAR , VAN VEEN GERARDUS , SCHROEMGES RENE PETER MARIE

IPC分类号： H01J37/244 , G01N23/00 , G01Q30/20 , G01Q70/10 , H01J20060101 , H01J37/00 , H01J37/26 , H01J37/28

CPC分类号： H01J37/26 , H01J37/244 , H01J2237/0045 , H01J2237/2448 , H01J2237/2605