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发明公开
PROBING A DEVICE 审中-公开
标题翻译：器件测试

公开(公告)号：EP1716422A4

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：EP05723223

申请日：2005-02-15

申请人： FORMFACTOR INC

发明人： COOPER TIMOTHY E , ELDRIDGE BENJAMIN N , KHANDROS IGOR K , MARTENS ROD , MATHIEU GAETAN L

IPC分类号： G01R31/28 , G01R1/073 , G01R31/02

CPC分类号： G01R31/2886 , G01R31/2887