公开(公告)号：EP0482546B1

公开(公告)日：1996-03-13

申请号：EP91117912.5

申请日：1991-10-21

申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.

发明人： Riedel, Wolfgang Julius ,  Knothe, Manfred

IPC分类号： H01S3/043 ,  H01L33/00 ,  H01L23/44 ,  F25D19/00

CPC分类号： H01L33/648 ,  F25D3/10 ,  H01L23/445 ,  H01L2924/0002 ,  H01S5/02423 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：EP0482546A3

公开(公告)日：1992-11-19

申请号：EP91117912.5

申请日：1991-10-21

申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.

发明人： Riedel, Wolfgang Julius ,  Knothe, Manfred

IPC分类号： H01S3/043 ,  H01L33/00 ,  H01L23/44 ,  F25D19/00

CPC分类号： H01L33/648 ,  F25D3/10 ,  H01L23/445 ,  H01L2924/0002 ,  H01S5/02423 ,  H01L2924/00

摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Kühlung von optischen und/oder elektronischen Komponenten, z.B. Diodenlaser, und/oder sonstigen Proben (Elemente), mit einem Vorratsbehälter für eine Kryoflüssigkeit, die einer Verdampfungskammer zugeführt wird, in der sie vollständig verdampft, wodurch dem Element Wärme entzogen wird. Dabei weist die Verdampfungskammer in ihrem unteren Bereich eine eine Eintrittsöffnung auf, durch die die Kryoflüssigkeit in die Verdampfungskammer eintritt und in ihrem oberen Bereich weist sie eine Austrittsöffnung auf, durch die der Dampf über eine Drossel in den Kryoflüssigkeitsvorrat entweicht. Vorzugsweise liegt das obere Ende der Verdampfungskammer tiefer als das unterste Niveau des Kryoflüssigkeitsvorrates, und die Zufuhr der Kryoflüssigkeit und die Dampfableitung erfolgen mittels beliebig formbarer Leitungen. Das zu kühlende Element ist mit einem Wärmeleitelement wärmeleitend verbunden, das einen geringen Wärmewiderstand hat, und das derart in die Verdampfungskammer hineinragt, daß die Kryoflüssigkeit in der Verdampfungskammer das Wärmeleitelement benetzt. Das Wärmeleitelement ist in dem Kryoflüssigkeitsvorratsbehälter thermisch isoliert angeordnet.

公开(公告)号：EP0482546A2

公开(公告)日：1992-04-29

申请号：EP91117912.5

申请日：1991-10-21

申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.

发明人： Riedel, Wolfgang Julius ,  Knothe, Manfred

IPC分类号： H01S3/043 ,  H01L33/00 ,  H01L23/44 ,  F25D19/00

CPC分类号： H01L33/648 ,  F25D3/10 ,  H01L23/445 ,  H01L2924/0002 ,  H01S5/02423 ,  H01L2924/00

摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Kühlung von optischen und/oder elektronischen Komponenten, z.B. Diodenlaser, und/oder sonstigen Proben (Elemente), mit einem Vorratsbehälter für eine Kryoflüssigkeit, die einer Verdampfungskammer zugeführt wird, in der sie vollständig verdampft, wodurch dem Element Wärme entzogen wird. Dabei weist die Verdampfungskammer in ihrem unteren Bereich eine eine Eintrittsöffnung auf, durch die die Kryoflüssigkeit in die Verdampfungskammer eintritt und in ihrem oberen Bereich weist sie eine Austrittsöffnung auf, durch die der Dampf über eine Drossel in den Kryoflüssigkeitsvorrat entweicht. Vorzugsweise liegt das obere Ende der Verdampfungskammer tiefer als das unterste Niveau des Kryoflüssigkeitsvorrates, und die Zufuhr der Kryoflüssigkeit und die Dampfableitung erfolgen mittels beliebig formbarer Leitungen. Das zu kühlende Element ist mit einem Wärmeleitelement wärmeleitend verbunden, das einen geringen Wärmewiderstand hat, und das derart in die Verdampfungskammer hineinragt, daß die Kryoflüssigkeit in der Verdampfungskammer das Wärmeleitelement benetzt. Das Wärmeleitelement ist in dem Kryoflüssigkeitsvorratsbehälter thermisch isoliert angeordnet.

摘要翻译： 用于光学和/或电子元件（例如二极管激光器）和/或其他测试装置（元件）的冷却装置具有用于低温液体的储存容器，其被供给到其中完全蒸发的蒸发室，从而从 元素。 在其下部分中，蒸发室具有入口，低温液体通过该入口进入蒸发室，并且在其上部具有出口开口，通过该出口开口，蒸汽通过节流进入低温储液容器。 优选地，蒸发室的上端低于低温液体原料的最低水平，并且供应低温液体，并且通过可以以任何所需方式成形的管线去除蒸汽。 要冷却的元件以导热方式连接到具有低热阻的导热元件，并且以这样的方式突入蒸发室，使得蒸发室中的低温液体润湿导热元件 。 在低温液体储存容器中，导热元件是绝热的。