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公开(公告)号:EP0373536A2
公开(公告)日:1990-06-20
申请号:EP89122704.3
申请日:1989-12-08
IPC分类号: G01L9/00
CPC分类号: G01L9/0075
摘要: Ein überlastfester kapazitiver Drucksensor ist von zwei elektrisch voneinander isolierten Platten gebildet, die im Randbereich über ein Glaslot (3) miteinander verbunden sind. Mit Druck beaufschlagbare Platten (1, 4), von denen mindestens eine als druckempfindliche Membran (4) ausgebildet ist, bilden eine Kammer (9), deren Innenflächen dergestalt mit Schichtelektroden (5, 6, 7) belegt sind, daß diese mindestens zwei Kapazitäten bilden, die eine unterschiedliche Druckabhängigkeit aufweisen. Auf mindestens einer der Platten (1 oder 4) ist mindestens ein kreisringförmiger Stützring (2, 10, 11) ausgebildet. Dieser erstreckt sich bis in den Randbereich, in dem das Glaslot (3) angeordnet ist. Der Abstand der Platten (1, 4) wird durch die Höhe des Glaslots (3) und des Stützrings (2) oder der Stützringe (2) bestimmt.
摘要翻译: 一个过载保护的电容式压力传感器由彼此电绝缘并通过边缘区域中的玻璃焊料(3)彼此连接的两个板形成。 可以施加压力并且其中至少一个被构造为压敏膜(4)的板(1,4)形成室(9),其内表面涂覆有层电极(5, 6,7),使得它们形成呈现不同压力依赖性的至少两个电容。 在至少一个板(1或4)上,构造至少一个圆形支撑环(2,10,11)。 后者延伸到布置玻璃焊料(3)的边缘区域。 板(1,4)的间距由玻璃焊料(3)和支撑环(2)或支撑环(2)的高度决定。
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公开(公告)号:EP0373536B1
公开(公告)日:1994-07-06
申请号:EP89122704.3
申请日:1989-12-08
IPC分类号: G01L9/00
CPC分类号: G01L9/0075
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公开(公告)号:EP0373536A3
公开(公告)日:1991-03-06
申请号:EP89122704.3
申请日:1989-12-08
IPC分类号: G01L9/00
CPC分类号: G01L9/0075
摘要: Ein überlastfester kapazitiver Drucksensor ist von zwei elektrisch voneinander isolierten Platten gebildet, die im Randbereich über ein Glaslot (3) miteinander verbunden sind. Mit Druck beaufschlagbare Platten (1, 4), von denen mindestens eine als druckempfindliche Membran (4) ausgebildet ist, bilden eine Kammer (9), deren Innenflächen dergestalt mit Schichtelektroden (5, 6, 7) belegt sind, daß diese mindestens zwei Kapazitäten bilden, die eine unterschiedliche Druckabhängigkeit aufweisen. Auf mindestens einer der Platten (1 oder 4) ist mindestens ein kreisringförmiger Stützring (2, 10, 11) ausgebildet. Dieser erstreckt sich bis in den Randbereich, in dem das Glaslot (3) angeordnet ist. Der Abstand der Platten (1, 4) wird durch die Höhe des Glaslots (3) und des Stützrings (2) oder der Stützringe (2) bestimmt.
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