-
公开(公告)号：EP0524550A1
公开(公告)日：1993-01-27
申请号：EP92112193.5
申请日：1992-07-17
CPC分类号： G01L9/0075 , G01L9/125
摘要： Der beschriebene Relativdrucksensor besteht aus einer Trägerplatte 31, an welcher beidseitig einerseits zur Bildung einer Meßkammer 30 und andererseits zur Bildung einer Referenzdruckkammer 40 elastisch verformbare Membranen 32 und 42 angebracht sind. Die Membranen sind im Randbereich über dichtende Abstandsringe 33 und 43 mit der Trägerplatte 31 gasdicht verbunden. Die Kammern 30 und 40 sind miteinander über eine Bohrung 34 der Trägerplatte 31 verbunden. Über eine verschließbare Querbohrung 35 lassen sich die Kammern evakuieren und mit einem neutralen Gas füllen. Auf die Membran 32 wirkt der Prozeßdruck P p eines zu überwachenden Mediums, auf die Membran 42 ein bekannter Referenzdruck P Ref . Die Membranen 32 und 42 sind mit Wandlern verbunden, welche die mechanische Auslenkung in elektrische Signale verwandeln. Diese elektrischen Signale werden einer elektrischen Schaltung 45 zugeführt, welche ein dem Relativdruck, also der Differenz zwischen Prozeß- und Referenzdruck, proportionales Ausgangssignal erzeugt.
摘要翻译： 所描述的相对压力传感器由一个支撑板31组成，一个侧面上安装有支撑板31，一方面为了形成一个测量室30，另一方面为了形成一个参考压力室40弹性变形膜片 膜片通过密封间隔环33和43以气密方式连接到边缘区域到支撑板31.腔室30和40通过支撑板31中的孔34彼此连接 通过可密封的横向孔35，这些室可被排空并填充中性气体。 要监测的介质的过程压力Pp作用在隔膜32上，已知的参考压力PRef作用在隔膜42上。隔膜32和42由将机械偏转转换成电信号的换能器连接。 这些电信号被馈送到电路45，电路45产生与相对压力成比例的输出信号，也就是说过程和参考压力之间的差。
-
公开(公告)号：EP0524550B1
公开(公告)日：1995-04-26
申请号：EP92112193.5
申请日：1992-07-17
CPC分类号： G01L9/0075 , G01L9/125
-
搜索结果
2 条记录 (耗时 0.008 秒)
