保存成功
保存失败
公开(公告)号:EP3472366A1
公开(公告)日:2019-04-24
申请号:EP17736871.9
申请日:2017-05-23
申请人: Forschungszentrum Jülich GmbH
发明人: VASSEN, Robert , KOCH, Denise , RAUWALD, Karl-Heinz , SLOOF, Wim G.
IPC分类号: C23C4/10 , C23C4/134