公开(公告)号：EP3602081A1

公开(公告)日：2020-02-05

申请号：EP18714195.7

申请日：2018-03-22

申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

发明人： GLUCH, Jürgen ,  KOPYCINSKA-MÜLLER, Malgorzata ,  KÖHLER, Bernd ,  RABE, Ute

IPC分类号： G01Q40/00 ,  G01Q60/32 ,  G01Q60/36

公开(公告)号：EP2409165A1

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：EP09775848.6

申请日：2009-03-16

申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. ,  Technische Universität Dresden

发明人： HEUER, Henning ,  STRIEGLER, André ,  OPITZ, Jörg ,  KOPYCINSKA-MÜLLER, Malgorzata ,  NAUMANN, Sascha

IPC分类号： G01Q60/38

CPC分类号： G01Q60/38 ,  G01Q70/10

摘要： The invention relates to a scanning force microscope, which can be used for different examinations of the surfaces of samples. The aim of the invention is to provide a scanning force microscope, by which surface regions of samples can be detected, which are oriented at a steeply inclined angle with respect to the central longitudinal axis of a cantilever of the scanning force microscope. In the scanning force microscope according to the invention, at least one sensor tip is disposed on the cantilever, the sensitive region of which is disposed at a distance from the cantilever. To this end, the cantilever which is held on a face and can be prompted to oscillate using at least one actuator can be moved with the sensor tip and sample relative to each other along at least one axis. The sensitive region of a sensor tip and/or the base of a sensor tip are disposed on the cantilever with a distance and next to the center longitudinal axis of the cantilever. Either alone or additionally, the sensor tip can be angled or curved at an angle of

摘要翻译： 本发明涉及一种扫描力显微镜，其可用于样品表面的不同检查。 本发明的目的是提供一种扫描力显微镜，通过该扫描力显微镜可以检测样品的表面区域，其相对于扫描力显微镜的悬臂的中心纵向轴线以陡峭的倾斜角度取向。 在根据本发明的扫描力显微镜中，至少一个传感器尖端设置在悬臂上，其敏感区域布置在与悬臂相距一定距离处。 为此，可以使用至少一个致动器保持在面上并且可以促使其振动的悬臂随着传感器尖端和样本沿着至少一个轴线相对于彼此移动。 传感器尖端的敏感区域和/或传感器尖端的基底以悬臂的中心纵向轴线的一定距离布置在悬臂上。 无论是单独还是附加地，传感器尖端可以相对于悬臂的中心纵轴以<90°的角度成角度或弯曲。