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发明公开
MICROMECHANICAL DEVICES WITH MECHANICAL ACTUATORS 审中-公开

公开(公告)号：EP3568595A1

公开(公告)日：2019-11-20

申请号：EP18701116.8

申请日：2018-01-09

申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

发明人： CONRAD, Holger , GAUDET, Matthieu , SCHENK, Harald , UHLIG, Sebastian

IPC分类号： F04B43/04 , F04B43/09 , F04B1/06 , B81B3/00 , F04B7/00 , F04B49/00