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发明公开
VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR ENERGIEERZEUGUNG AUS WASSERSTOFFREICHEM INDUSTRIE-ABGAS 审中-公开
标题翻译：用于从氢气工业废气产生能量的方法和装置

公开(公告)号：EP3266512A1

公开(公告)日：2018-01-10

申请号：EP16178520.9

申请日：2016-07-08

申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. , KHK Epi Technologies GmbH

发明人： STEINBERGER, Michael , ÖCHSNER, Richard , FREY, Lothar , KÖNIG, Karl-Heinz

IPC分类号： B01D53/32 , H01M8/00

CPC分类号： B01D53/326 , B01D2257/108 , B01D2258/0216 , F24H2240/10 , H01M8/04097 , H01M8/04776 , H01M8/0687

摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Einrichtung zur Energieerzeugung aus wasserstoffreichem Industrie-Abgas, insbesondere aus Anlagen der Halbleiterfertigung und/oder Halbleiterprozessierung. Bei dem Verfahren wird das Abgas durch eine Stromerzeugungs-Einrichtung mit wenigstens einem Kompressor (2) und einer oder mehreren Brennstoffzellen (3) geleitet. In der Stromerzeugungs-Einrichtung wird das Abgas komprimiert und aus wenigstens einem Teil des darin enthaltenen Wasserstoffs Strom erzeugt. Der Kompressor (2) ist dabei mit dem Ausgang der AbgasAnlage verbunden, wobei der Eingangsdruck des Kompressors (2) auf einen Sollwert geregelt wird. Mit dem Verfahren und der zugehörigen Einrichtung lässt sich der im wasserstoffhaltigen Industrie-Abgas enthaltene Energiegehalt des Wasserstoffs wenigstens zum Teil in elektrische Nutzenergie wandeln. Das Verfahren und die Einrichtung lassen sich dabei insbesondere für die Rückverstromung des Industrie-Abgases von Anlagen der Halbleiterfertigung und/oder - prozessierung ohne Rückwirkung auf diese Prozesse einsetzen.

摘要翻译： 用于从富氢工业废气产生能量的方法和设备技术领域本发明涉及用于从富氢工业废气，特别是从半导体制造和/或半导体处理设备产生能量的方法和设备。在该方法中，排气通过具有至少一个压缩机（2）和一个或多个燃料电池（3）的发电装置。在发电装置中，排气被压缩并且从其中包含的氢的至少一部分发电。压缩机（2）连接到排气系统的输出端，其中压缩机（2）的输入压力被控制到期望值。利用该方法和相关装置，含氢工业废气中所含氢的能量可至少部分转化为有用的电能。该方法和装置尤其可用于半导体制造和/或加工工厂的工业废气的再转化，而不会对这些工艺产生追溯效应。