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1.ION BEAM SAMPLE PREPARATION THERMAL MANAGEMENT APPARATUS AND METHODS 审中-公开
标题翻译: VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUMWÄRMEMANAGEMENTEINES IONENSTRAHL-PROBENPRÄATARARS公开(公告)号:EP2558837A4
公开(公告)日:2014-06-18
申请号:EP11769333
申请日:2011-04-08
申请人: GATAN INC
CPC分类号: G21F3/00 , G01N1/32 , H01J37/31 , H01J2237/026 , H01J2237/2007 , H01J2237/3118
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公开(公告)号:EP2558838A4
公开(公告)日:2014-06-11
申请号:EP11769334
申请日:2011-04-08
申请人: GATAN INC
CPC分类号: H01J37/20 , G01N1/32 , H01J37/185 , H01J37/31 , H01J2237/2007 , H01J2237/3118
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公开(公告)号:EP2558839A4
公开(公告)日:2014-06-18
申请号:EP11769335
申请日:2011-04-08
申请人: GATAN INC
CPC分类号: G01N1/44 , G01N1/32 , H01J37/023 , H01J37/31 , H01J2237/0245 , H01J2237/2007 , H01J2237/3118
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公开(公告)号:EP2558836A4
公开(公告)日:2014-06-04
申请号:EP11769332
申请日:2011-04-08
申请人: GATAN INC
CPC分类号: G01N1/32 , H01J37/31 , H01J2237/026 , H01J2237/2007 , H01J2237/3118
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