专利检索 ap:("HITACHI HIGH TECH CORP") AND inv:"MOMOI YASUYUKI" 第 1 页

1.

发明公开
STAGE APPARATUS 审中-公开
标题翻译：台装置

公开(公告)号：EP2600383A4

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：EP11811978

申请日：2011-06-15

申请人： HITACHI HIGH TECH CORP

发明人： MOMOI YASUYUKI , TAKEUCHI KOICHIRO , TAKAHASHI KANAME , HANEDA SHIGERU

IPC分类号： H01J37/20 , G03F7/20

CPC分类号： G21K5/08 , H01J37/20 , H01J2237/20278