公开(公告)号：EP0798399B1

公开(公告)日：2000-07-12

申请号：EP96120195.1

申请日：1996-12-16

申请人： Hauzer Industries B.V.

发明人： Münz, Wolf-Dieter, Prof.Dr. ,  Brooks, John Stuart, Prof.Dr. ,  Smith, Ian ,  Donohue, Lee Adrian, Dr.

IPC分类号： C23C14/06 ,  C23C14/02 ,  C23C14/14 ,  C23C14/16

CPC分类号： C23C14/0641 ,  C23C14/022

公开(公告)号：EP0798399A1

公开(公告)日：1997-10-01

申请号：EP96120195.1

申请日：1996-12-16

申请人： Hauzer Industries B.V.

发明人： Münz, Wolf-Dieter, Prof.Dr. ,  Brooks, John Stuart, Prof.Dr. ,  Smith, Ian ,  Donohue, Lee Adrian, Dr.

IPC分类号： C23C14/06 ,  C23C14/02 ,  C23C14/14 ,  C23C14/16

CPC分类号： C23C14/0641 ,  C23C14/022

摘要： Die Erfindung befaßt sich mit Reduzierung der Oberflächenrauhigkeit von Titan-Aluminium-Nitrid-Hartstoffschichten, hergestellt mit dem kombinierten kathodischen Bogenentladungsverdampfungsverfahren und dem unbalancierten Magnetron-Beschichtungsverfahren (ABS-Verfahren) oder mit dem reinen kathodischen Bogenentladungsverdampfungsverfahren.

摘要翻译： 本发明涉及减少与组合阴极电弧放电蒸发过程和非平衡磁控溅射法（ABS）的方法或与纯阴极电弧放电蒸发法制造氮化铝钛的硬质材料的涂层的表面粗糙度。