公开(公告)号：EP1780500A1

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：EP06405336.6

申请日：2006-08-08

申请人： Hch. Kündig & Cie. AG

发明人： Keller, Albert c/o Hch. Kündig & Cie. AG ,  Hänggli, Markus c/o Hch. Kündig & Cie. AG ,  Weber, Philipp c/o Hch. Kündig & Cie. AG ,  Stuker, Peter c/o Hch. Kündig & Cie. AG

IPC分类号： G01B7/06 ,  B29C47/92

CPC分类号： G01B7/087 ,  B29C47/0021 ,  B29C47/0026 ,  B29C47/0057 ,  B29C47/0059 ,  B29C47/009 ,  B29C47/065 ,  B29C47/92 ,  B29C2791/007 ,  B29C2947/92152 ,  B29C2947/92209 ,  B29C2947/92428 ,  B29C2947/92647 ,  B29C2947/92904 ,  B29K2023/06 ,  B29K2023/086 ,  B29K2023/12 ,  B29K2077/00

摘要： Bei dem Verfahren zum Bestimmen der Dicke von Mehrschichtfolien 13 mit Schichten aus verschiedenen nichtleitenden Werkstoffen wird die Dicke der Mehrschichtfolie 13 mit einem ersten Sensor 17 und einem zweiten Sensor 16 und eventuell weiteren Sensoren gemessen. Der erste Sensor 17 misst mit einer kurzen Zykluszeit von ca 1-2 Minuten das Profil der Gesamtdicke, jedoch mit einem grossen Messfehler. Der zweite Sensor 16 misst das Profil der Gesamtdicke mit einem kleinen Messfehler, jedoch mit einer langen Zykluszeit von ca. 10 bis 30 Minuten.
Durch den Vergleich der beiden Dickenprofile kann für den ersten Sensor 17 ein Korrekturprofil berechnet werden. Unter der Voraussetzung, dass dieses Korrekturprofil über die lange Zykluszeit stabil bleibt, können alle Dickenprofrle des Sensors 17 mit diesem Korrekturprofil verrechnet werden, bis wieder ein neues genaueres Dickenprofil vom zweiten Sensor zur Verfügung steht und somit ein neues Korrekturprofil berechnet werden kann.

摘要翻译： 测量包括不同非导电材料层的多层膜的总厚度或单个厚度包括使用根据不同测量原理操作的两个传感器的测量值来确定至少一个传感器的校正，并从 来自一个传感器的测量值和该传感器的校正至少一个后续测量。 还包括一个独立的权利要求，用于通过使用第二传感器来校正在包括具有第一传感器的不同非导电材料层的多层膜上进行的一系列厚度测量，所述第二传感器为同一材料的相同厚度提供不同的读数， 从两个传感器到计算机，其根据不同的读数确定正确的厚度，并从正确的厚度与由两个传感器测量的值的比率计算校正轮廓，并且使用校正轮廓来校正一个或多个后续的系列 的测量。