RF DISCHARGE SUPPRESSION IN LOW PRESSURE GAS DEVICES
    1.
    发明授权
    RF DISCHARGE SUPPRESSION IN LOW PRESSURE GAS DEVICES 失效
    低压气体装置中的射频放电抑制

    公开(公告)号:EP0244474B1

    公开(公告)日:1991-05-22

    申请号:EP86907067.2

    申请日:1986-10-28

    IPC分类号: H01S3/038

    摘要: An RF laser structure (10) which includes an elongated laser excitation cavity (27) and an electrode structure (20) for suppressing extraneous RF discharges outside of the laser cavity. The electrode structure includes an electrode (41) adjacent the elongated laser cavity (27) and extending along the laser cavity; a conductive structure (43, 45) adjacent and conductively coupled to the electrode (41) for shielding the electrode and for providing smooth conductive surfaces; and a dielectric filler (47) encapsulating the electrode and the conductive structure, and for controlling the electric field generated by the electrode structure so that extraneous discharges are suppressed. Also disclosed is a method for making a laser electrode structure which includes the steps of forming an electrode adjacent the elongated laser cavity, and encapsulating the electrode with a dielectric potting material.

    LASER FREQUENCY CONTROL
    2.
    发明授权
    LASER FREQUENCY CONTROL 失效
    LASER-FREQUENZSTEUERUNG。

    公开(公告)号:EP0404857B1

    公开(公告)日:1994-02-16

    申请号:EP89908137.6

    申请日:1989-06-26

    IPC分类号: H01S3/131 H01S3/102

    CPC分类号: H01S3/104 H01S3/134

    摘要: A radio frequency excited carbon dioxide laser (50) is stabilized by sensing (66) variation in output power to generate a feedback signal (68, 78) that is employed to vary amplitude of the radio frequency exciting signal from a power source (62). Frequency modulation of the laser output is achieved by varying the amplitude of the radio frequency signal from a power source (62) in response to a frequency modulating control signal from a modulation source (74). Both stabilization and frequency modulation are accomplished by combining the sensed power feedback signal with the frequency modulation control signal in a summing circuit (70) and employing the combined signal to vary magnitude of the radio frequency exciting signal.

    LASER FREQUENCY CONTROL
    3.
    发明公开
    LASER FREQUENCY CONTROL 失效
    激光频率控制。

    公开(公告)号:EP0404857A1

    公开(公告)日:1991-01-02

    申请号:EP89908137.0

    申请日:1989-06-26

    IPC分类号: H01S3

    CPC分类号: H01S3/104 H01S3/134

    摘要: Un laser à dioxyde de carbone (50) excité par haute fréquence est stabilisé par la détection (66) d'une variation de la puissance de sortie afin de générer un signal de rétroaction (68, 78) servant à faire varier l'amplitude du signal d'excitation haute fréquence émanant d'une source d'énergie (62). La modulation en fréquence de la sortie laser s'effectue par variation de l'amplitude du signal haute fréquence émanant d'une source d'énergie (62) en réaction à un signal de commande de modulation de fréquence émanant d'une source de modulation (74). La stabilisation et la modulation de fréquence sont obtenues par combinaison du signal de rétroaction détecté avec le signal de commande de modulation de fréquence dans un circuit sommateur (70) et par la mise en oeuvre du signal combiné pour faire varier l'amplitude du signal d'excitation haute fréquence.

    RF DISCHARGE SUPPRESSION IN LOW PRESSURE GAS DEVICES
    4.
    发明公开
    RF DISCHARGE SUPPRESSION IN LOW PRESSURE GAS DEVICES 失效
    RF减排在低气器件。

    公开(公告)号:EP0244474A1

    公开(公告)日:1987-11-11

    申请号:EP86907067.0

    申请日:1986-10-28

    IPC分类号: H01S3

    摘要: Structure laser RF (10) comprenant une cavité allongée d'excitation laser (27) et une structure d'électrode (20) permettant de supprimer les décharges HF à l'extérieur de la cavité du laser. La structure d'électrode comporte une électrode (41) adjacente à la cavité allongée (27) du laser et s'étendant le long de cette cavité; une structure conductrice (43, 45) adjacente à l'électrode (41) et couplée à cette dernière de manière conductrice, afin de former un blindage pour l'électrode ainsi que des surfaces conductrices lisses; et un remplissage diélectrique (47) qui encapsule l'électrode et la structure conductrice, de manière à réguler le champ électrique produit par la structure d'électrode dans le but de supprimer toute décharge parasite. Est également décrit un procédé de fabrication d'une structure d'électrode de laser consistant à former une électrode à proximité de la cavité laser allongée, et à encapsuler l'électrode dans un matériau d'enrobage diélectrique .