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发明公开
FIBER LASER APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING WORKPIECE 审中-公开

公开(公告)号：EP3646419A1

公开(公告)日：2020-05-06

申请号：EP18840834.8

申请日：2018-07-31

申请人： IPG Photonics Corporation

发明人： LIMANOV, Alexander , VON DADELSZEN, Michael , CORDINGLEY, James , SCHOENLY, Joshua

IPC分类号： H01S3/10 , H01L21/268