公开(公告)号：EP3718182A1

公开(公告)日：2020-10-07

申请号：EP19703903.5

申请日：2019-01-18

申请人： IQE plc

发明人： CLARK, Andrew ,  HAMMOND, Rich ,  DARGIS, Rytis ,  LEBBY, Michael ,  PELZEL, Rodney

IPC分类号： H01S5/026 ,  H01L21/02 ,  H01L21/8258

公开(公告)号：EP3741015A1

公开(公告)日：2020-11-25

申请号：EP19704126.2

申请日：2019-01-18

申请人： IQE plc

发明人： HAMMOND, Rich ,  PELZEL, Rodney ,  NELSON, Drew ,  CLARK, Andrew ,  CHESKIS, David ,  LEBBY, Michael

IPC分类号： H01S5/183 ,  H01S5/40 ,  H01S5/42