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发明公开
VERFAHREN ZU BESTIMMUNG EINES DRUCKS UND DRUCKSENSOR 审中-公开

公开(公告)号：EP4031845A1

公开(公告)日：2022-07-27

申请号：EP19773077.3

申请日：2019-09-20

申请人： Inficon AG

发明人： STRIETZEL, Carsten , WÄLCHLI, Urs , KAISER, Stefan , RIESCH, Christian , ANDREAUS, Bernhard , WEDER, Mario

IPC分类号： G01L21/32 , G01L21/34 , H01J41/06