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发明授权
SELECTIVE ETCHING FOR GATE ALL AROUND ARCHITECTURES 有权

公开(公告)号：EP3087588B1

公开(公告)日：2019-03-20

申请号：EP13900562.3

申请日：2013-12-27

申请人： Intel Corporation

发明人： SUNG, Seung Hoon , TURKOT, Robert B. Jr. , MURTHY, Anand , KIM, Seiyon , KUHN, Kelin

IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/336 , H01L29/423 , H01L21/67 , H01L29/66 , H01L29/06