公开(公告)号：EP1261554B1

公开(公告)日：2004-10-20

申请号：EP00974749.4

申请日：2000-11-28

申请人： International Business Machines Corporation

发明人： BEYELER, René ,  BLÖCHL, Peter ,  BONA, Gian-Luca ,  GERMANN, Roland, W. ,  HORST, Folkert ,  OFFREIN, Bert, J. ,  SALEMINK, Huub, L. ,  WIESMANN, Dorothea, W.

IPC分类号： C03C3/04 ,  C03C3/11 ,  C03B19/14 ,  C01B21/087 ,  C01B21/082 ,  C23C16/30 ,  G02B6/10

CPC分类号： G02B6/122 ,  C01B21/0823 ,  C01B21/087 ,  C01P2002/82 ,  C03B19/1415 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/24 ,  C03C1/02 ,  C03C3/045 ,  C03C3/111 ,  C03C2201/22 ,  C03C2201/24 ,  C23C16/308 ,  G02B6/105 ,  G02B6/13 ,  G02B6/132 ,  G02B2006/12119

摘要： A new material is provided that can be used for the fabrication of planar optical waveguides. The material includes silicon, oxygen and nitrogen and additionally deuterium. Also provided is a method for fabricating planar optical waveguides based on this new material, which uses deuterated gaseous precursors.

公开(公告)号：EP1261554A1

公开(公告)日：2002-12-04

申请号：EP00974749.4

申请日：2000-11-28

申请人： International Business Machines Corporation

发明人： BEYELER, René ,  BLÖCHL, Peter ,  BONA, Gian-Luca ,  GERMANN, Roland, W. ,  HORST, Folkert ,  OFFREIN, Bert, J. ,  SALEMINK, Huub, L. ,  WIESMANN, Dorothea, W.

IPC分类号： C03C3/04 ,  C03C3/11 ,  C03B19/14 ,  C01B21/087 ,  C01B21/082 ,  C23C16/30 ,  G02B6/10

CPC分类号： G02B6/122 ,  C01B21/0823 ,  C01B21/087 ,  C01P2002/82 ,  C03B19/1415 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/24 ,  C03C1/02 ,  C03C3/045 ,  C03C3/111 ,  C03C2201/22 ,  C03C2201/24 ,  C23C16/308 ,  G02B6/105 ,  G02B6/13 ,  G02B6/132 ,  G02B2006/12119

摘要： A new material is provided that can be used for the fabrication of planar optical waveguides. The material includes silicon, oxygen and nitrogen and additionally deuterium. Also provided is a method for fabricating planar optical waveguides based on this new material, which uses deuterated gaseous precursors.