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    SAMPLE HEATING HOLDER FOR ELECTRON BEAM MICROSCOPES OR ANALYZERS, AND SAMPLE HEATING METHOD USING THE SAME
    1.
    发明公开
    SAMPLE HEATING HOLDER FOR ELECTRON BEAM MICROSCOPES OR ANALYZERS, AND SAMPLE HEATING METHOD USING THE SAME 审中-公开
    PROBENERWÄRMUNGSHALTERFÜRELEKTRONENSTRAHLMIKROSKOPE ODER ANALYSATOREN UNDPROBENERWÄRMUNGSVERFAHRENDAMIT

    公开(公告)号：EP2757572A1

    公开(公告)日：2014-07-23

    申请号：EP12831362.4

    申请日：2012-08-23

    申请人： JFE Steel Corporation

    发明人： YAMASHITA,Takako ,  NORO, Hisato ,  SEKIMOTO, Mitsuyoshi ,  WATANABE, Manabu ,  KAJIMA, Yoshihisa

    IPC分类号： H01J37/20

    CPC分类号： H01J37/20 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/2001

    摘要： The invention provides a sample heating holder for electron beam microscopes or analyzers and a sample heating method using the holder, which can prevent stably the occurrence of contaminants on the sample surface without entailing ultrahigh vacuum evacuation or destructing the sample surface. The sample heating holder for an electron beam microscope or analyzer has excellent performance in the suppression of the growth of carbon contaminations and the occurrence of a thermal drift during observation and analysis, and includes a positive temperature coefficient (PTC) thermistor as a heating element.

    摘要翻译： 本发明提供一种用于电子束显微镜或分析仪的样品加热夹持器以及使用该保持器的样品加热方法，其可以防止在样品表面上稳定地发生污染物的出现，而不需要超高真空抽真空或破坏样品表面。 用于电子束显微镜或分析仪的样品加热保持器在抑制碳污染物的生长和观察和分析期间的热漂移的发生方面具有优异的性能，并且包括作为加热元件的正温度系数（PTC）热敏电阻。