公开(公告)号：EP3548971A1

公开(公告)日：2019-10-09

申请号：EP18745244.6

申请日：2018-01-24

申请人： Kla-Tencor Corporation

发明人： ADEL, Michael A. ,  MANASSEN, Amnon ,  PIERSON, William ,  LEVY, Ady ,  SUBRAHMANYAN, Pradeep ,  YERUSHALMI, Liran ,  CHOI, Dongsub ,  HEO, Hoyoung ,  ALUMOT, Dror ,  ROBINSON, John

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/027

公开(公告)号：EP3420581A1

公开(公告)日：2019-01-02

申请号：EP17757185.8

申请日：2017-02-23

申请人： Kla-Tencor Corporation

发明人： BRINGOLTZ, Barak ,  GUREVICH, Evgeni ,  ADAM, Ido ,  FELER, Yoel ,  ALUMOT, Dror ,  LAMHOT, Yuval ,  SELLA, Noga ,  DELEEUW, Yaron ,  YAZIV, Tal ,  ASHWAL, Eltsafon ,  SALTOUN, Lilach ,  LEVIANT, Tom

IPC分类号： H01L21/66