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发明公开
ACCURACY IMPROVEMENTS IN OPTICAL METROLOGY 审中-公开

公开(公告)号：EP3420581A1

公开(公告)日：2019-01-02

申请号：EP17757185.8

申请日：2017-02-23

申请人： Kla-Tencor Corporation

发明人： BRINGOLTZ, Barak , GUREVICH, Evgeni , ADAM, Ido , FELER, Yoel , ALUMOT, Dror , LAMHOT, Yuval , SELLA, Noga , DELEEUW, Yaron , YAZIV, Tal , ASHWAL, Eltsafon , SALTOUN, Lilach , LEVIANT, Tom

IPC分类号： H01L21/66