公开(公告)号：EP2128088B1

公开(公告)日：2013-05-29

申请号：EP08703609.1

申请日：2008-01-22

申请人： Kojima, Gen ,  Yokoyama, Hiroshi

发明人： KOJIMA, Gen ,  YOKOYAMA, Hiroshi ,  HAYASHI, Yutaka

IPC分类号： C01B33/02 ,  C30B29/06 ,  H01L31/04 ,  C30B11/00 ,  C30B15/00 ,  C30B15/30 ,  H01L31/18 ,  C30B28/10

CPC分类号： H01L31/182 ,  C30B15/002 ,  C30B15/007 ,  C30B15/30 ,  C30B28/10 ,  C30B29/06 ,  Y02E10/546 ,  Y02P70/521