专利检索 ap:("LG SILTRON INC") AND inv:"KANG YUJIN" 第 1 页

1.

发明公开
SUSCEPTOR 审中-公开
标题翻译： SUSZEPTOR

公开(公告)号：EP2748843A4

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：EP12827558

申请日：2012-08-22

申请人： LG SILTRON INC

发明人： KANG YUJIN , KU YOUNGSU

IPC分类号： H01L21/683 , C23C16/458 , F17D3/00 , H01L21/205 , H05B6/80

CPC分类号： F17D3/00 , C23C16/4583 , C23C16/4586 , H05B6/806 , Y10T137/0318