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发明公开
PECVD DEPOSITION SYSTEM FOR DEPOSITION ON SELECTIVE SIDE OF THE SUBSTRATE 审中-公开

公开(公告)号：EP3676418A1

公开(公告)日：2020-07-08

申请号：EP18852315.3

申请日：2018-08-24

申请人： Lam Research Corporation

发明人： SHAIKH, Fayaz , LINEBARGER, Nick , BAILEY, Curtis

IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/505 , C23C16/458 , C23C16/44 , C23C16/04 , H01L21/02