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发明公开
VORRICHTUNG ZUM FIXIEREN VON OBJEKTEN MITTELS VAKUUM 审中-公开

公开(公告)号：EP3443415A1

公开(公告)日：2019-02-20

申请号：EP17721517.5

申请日：2017-03-30

申请人： Laser Imaging Systems GmbH

发明人： SCHOLZ-GÖRLACH, Urban , KLOWSKY, Uwe , FLEMMING, Günter

IPC分类号： G03B27/60 , H01L21/683 , B23K37/04 , B25B11/00 , G03F7/20 , B41F15/20