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    Lasermikrosonde für Festkörperproben, bei der eine Beobachtungsoptik, eine Laserlichtoptik und eine Ionenoptik auf derselben Seite einer Probenhalterung angeordnet sind
    2.
    发明公开
    Lasermikrosonde für Festkörperproben, bei der eine Beobachtungsoptik, eine Laserlichtoptik und eine Ionenoptik auf derselben Seite einer Probenhalterung angeordnet sind 失效
    对于固体样品激光微探针，其中的观察光学系统，激光光学系统和离子光学器件被布置在试样保持器的同一侧。

    公开(公告)号：EP0088917A1

    公开(公告)日：1983-09-21

    申请号：EP83101796.7

    申请日：1983-02-24

    申请人： Leybold-Heraeus GmbH

    发明人： Bank, Walter ,  Feigl, Peter ,  Heinen, Hans-Josef, Dr. ,  Hillenkamp, Franz, Prof. Dr. ,  Nitsche, Rainer, Dr. ,  Schueler, Bruno ,  Vogt, Henning ,  Wechsung, Reiner, Dr.

    IPC分类号： H01J49/16 ,  H01J49/04

    CPC分类号： H01J49/0418 ,  H01J49/0459 ,  H01J49/164

    摘要： Bei einer Lasermikrosonde, die eine Analyse von Festkörperproben in der Größenordnung von wenigen µm gestattet, sind die Probenhalterung (2) mit der Probe (1) einerseits und zumindest die lonenoptik (9) sowie die Beobachtungsoptik (3) andererseits derart relativ zueinander bewegbar, daß in einer ersten Position (der Beobachtungsposition) die Beobachtungsoptik (3) und in einer zweiten Position (der Meßposition) die Laserlichtoptik (4) sowie die lonenoptik (9) der Probe (1) derart zugeordnet sind, daß ein in der Beobachtungsposition mittels der Beobachtungsoptik (3) ausgesuchter Probenbereich (1') in der Meßposition im Fokus der Laserlichtoptik (4) liegt.

    摘要翻译： 1.一种用于固态样品的激光微探针，其中在观察透镜装置，激光透镜装置和离子透镜装置被设置在样品架上的相同侧，并且其中一个时间飞行质谱仪 用作质量分析器，由以下特性为特征：一方面样本保持器（2）与样品A）（1），并且在另一方面，至少离子透镜装置（9）和所述观察透镜装置（ 3）相对于可动海誓山盟在观察位置和测量位置之间移动; b）在观察位置的轴（5）的观察透镜的装置（3）垂直于所述样品（1）的表面上; c）在测量位置上的离子透镜的轴线（14）的装置（9）是垂直于样品（1）的表面上，而轴线（6）的激光透镜装置（4）以角度β形式< 与样品表面成90度，两个轴相交的样品的表面上（1）; D）止动装置（25或41，42）被布置在所述可移动样本保持器（2）或在可移动的，透镜装置承载部件（26）和被如此调整并在借助于所述观察位置中选择的样本区域 的观察透镜装置（3）位于在所述激光光透镜的焦点测量位置的装置（4）。