公开(公告)号：EP2811260A1

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：EP14171673.8

申请日：2014-06-09

申请人： MCube, Inc.

发明人： Yoneoka, Shingo ,  Sridharamurthy, Sudheer ,  Zhang, Wenhua ,  Lee, Te-Hsi

IPC分类号： G01C19/5719 ,  G01P15/125

CPC分类号： G01P15/131 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5719 ,  G01C19/5762 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0865

摘要： An integrated MEMS inertial sensor device is described. The device includes a MEMS inertial sensor overlying a CMOS substrate. The MEMS inertial sensor includes a drive frame coupled to the surface region via at least one drive spring, a sense mass coupled to the drive frame via at least a sense spring, and a sense electrode disposed underlying the sense mass. The device also includes at least one pair of quadrature cancellation electrodes disposed within a vicinity of the sense electrode, wherein each pair includes an N-electrode and a P-electrode.

摘要翻译： 一种集成MEMS惯性传感器装置进行说明。 该装置包括一个MEMS惯性传感器上覆于CMOS衬底。 所述MEMS惯性传感器包括经由至少一个驱动弹簧，经由至少一个感弹簧质量耦合到所述驱动器框架上的意义上，和设置在感测质量块下方的传感电极耦合到所述表面区域上的驱动器框架。 因此，该装置包括至少一对感测电极的附近内设置正交取消电极，worin每一对包括N电极和p电极。