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发明公开
TRICHLOROSILANE VAPORIZATION SYSTEM 审中-公开
标题翻译： TRICHLORSILANVERDAMPFUNGSSYSTEM

公开(公告)号：EP2580159A4

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：EP11792024

申请日：2011-06-02

申请人： MEMC ELECTRONIC MATERIALS

发明人： HARI ABARAJITH , GU ZHIHUI , BHUSARAPU SATISH , TRUONG TIMOTHY DINH , GUPTA PUNEET

IPC分类号： C01B33/03 , F28D1/04 , F28F1/40

CPC分类号： F22B1/288 , C01B33/1071 , F28D15/00 , F28F13/003