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公开(公告)号:EP1771882B1
公开(公告)日:2013-09-11
申请号:EP05760793.9
申请日:2005-07-25
申请人: MESA Imaging AG
发明人: COTTIER, Kaspar , KAUFMANN, Rolf , KUNZ, Rino, E. , OGGIER, Thierry , VOIRIN, Guy , NEUKOM, Simon , LEHMANN, Michael
IPC分类号: H01L27/146 , G01N21/64
CPC分类号: H01L31/0232 , H01L27/14601 , H01L27/14623 , H01L27/148 , H01L31/02005