专利检索 ap:("MKS Instruments, Inc.") AND inv:"MARION, Duane W." 第 1 页

1.

发明公开
COLD CATHODE IONIZATION VACUUM GAUGE WITH MULTIPLE CATHODES 审中-公开

公开(公告)号：EP3443579A1

公开(公告)日：2019-02-20

申请号：EP17722329.4

申请日：2017-04-27

申请人： MKS Instruments, Inc.

发明人： SWINNEY, Timothy C. , PERCY, Clinton L. , MARION, Duane W. , KELLY, Brandon J.

IPC分类号： H01J41/06 , G01L21/34