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    Sensor and method of fabrication
    1.
    发明公开
    Sensor and method of fabrication 失效
    传感器和制造方法

    公开(公告)号：EP0780675A1

    公开(公告)日：1997-06-25

    申请号：EP96119688.8

    申请日：1996-12-09

    申请人： MOTOROLA, INC.

    发明人： Mirza, Andrew ,  Seddon, Kenneth M.

    IPC分类号： G01L9/06 ,  G01L9/00

    CPC分类号： G01L9/0042 ,  G01L9/0045

    摘要： A sensor (10,30) is formed that does not require a bonding process in an oxygen rich or vacuum ambient. In a first embodiment, a port (14), a channel (15) and an opening (18) are used to provide an oxidizing ambient to a cavity (13). During an oxidation process, the cavity (13) is sealed and any remaining oxidizing ambient is consumed to form a sealed cavity that is under a vacuum pressure. In an alternate embodiment, a cavity (32) is formed in a first substrate (31). The cavity (32) is covered by a second substrate (36) and an opening (33,34) is formed in the second substrate (36) above the cavity (32). These openings (33,34) allow an oxidizing ambient to enter the cavity (32).

    摘要翻译： 形成传感器（10,30），其不需要在富氧或真空环境中进行接合工艺。 在第一实施例中，使用端口（14），通道（15）和开口（18）向空腔（13）提供氧化环境。 在氧化过程中，空腔（13）被密封并且任何剩余的氧化环境被消耗以形成处于真空压力下的密封空腔。 在替代实施例中，腔体（32）形成在第一基板（31）中。 腔体（32）被第二基板（36）覆盖，并且在腔体（32）上方的第二基板（36）中形成开口（33,34）。 这些开口（33,34）允许氧化环境进入空腔（32）。