公开(公告)号：EP4050345A1

公开(公告)日：2022-08-31

申请号：EP21159549.1

申请日：2021-02-26

申请人： Materials Center Leoben Forschung GmbH

发明人： HAMMER, René ,  BEDOYA-MARTINEZ, Olga Natalia

IPC分类号： G01Q10/04 ,  G01Q20/04 ,  G01Q70/14 ,  G01Q20/02 ,  G01Q60/32 ,  G01N29/06

摘要： Die Erfindung betrifft eine Messsonde (1) zum Untersuchen von Oberflächenbereichen eines Objektes (2), insbesondere durch Abtasten von Oberflächenbereichen des Objektes (2), umfassend ein Substrat (3), eine Spitze (4) zum Wechselwirken mit dem Objekt (2) und einen Wandler (5) zur Aussendung von akustischen Signalen auf das Objekt (2), wobei das Substrat (3) die Spitze (4) und den Wandler (5) trägt. Um mit der Messsonde (1) ein Aussenden, Übertragen und Detektieren von akustischen Signalen mit hoher Frequenz und hoher Güte zu erzielen, ist erfindungsgemäß vorgesehen, dass der Wandler (5) aus mehreren Schichten (6) aufgebaut ist, wobei zumindest eine Schicht (6) zur Aussendung von akustischen Signalen anregbar ist und die Spitze (4) ausgebildet ist, um akustische Signale auf das Objekt (2) zu übertragen.
Weiter betrifft die Erfindung ein Rasterkfraftmikroskopieverfahren.