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公开(公告)号:EP4352466A1
公开(公告)日:2024-04-17
申请号:EP22722726.1
申请日:2022-04-13
申请人: Metryx Limited
发明人: OWENS, Sam , ELLIOTT, Gregor Robert , RAMAKRISHNAN, Vivek , COELHO, Luis , SAXENA, Prashant
IPC分类号: G01G7/02 , H01L21/00
CPC分类号: G01G7/02 , H01L22/12