公开(公告)号：EP4388580A1

公开(公告)日：2024-06-26

申请号：EP22765779.8

申请日：2022-08-15

申请人： Metryx Limited

发明人： ELLIOTT, Gregor Robert ,  WILBY, Robert John ,  MOOSAVI, Abraham ,  OWENS, Sam

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67103 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67748

公开(公告)号：EP4352466A1

公开(公告)日：2024-04-17

申请号：EP22722726.1

申请日：2022-04-13

申请人： Metryx Limited

发明人： OWENS, Sam ,  ELLIOTT, Gregor Robert ,  RAMAKRISHNAN, Vivek ,  COELHO, Luis ,  SAXENA, Prashant

IPC分类号： G01G7/02 ,  H01L21/00

CPC分类号： G01G7/02 ,  H01L22/12