公开(公告)号：EP2717037B1

公开(公告)日：2019-06-12

申请号：EP12792235.9

申请日：2012-04-09

申请人： Murata Manufacturing Co., Ltd.

发明人： KONDO, Takashi ,  KAMBA, Seiji ,  OGAWA, Yuichi ,  TOMITA, Sakura

IPC分类号： G01N21/03 ,  G01N21/3586 ,  G01J3/42 ,  G01N21/35 ,  G01N21/3577

公开(公告)号：EP2717037A1

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：EP12792235.9

申请日：2012-04-09

申请人： Murata Manufacturing Co., Ltd.

发明人： KONDO, Takashi ,  KAMBA, Seiji ,  OGAWA, Yuichi ,  TOMITA, Sakura

IPC分类号： G01N21/35

CPC分类号： G01N21/3586 ,  G01J3/42 ,  G01N21/03 ,  G01N21/3577 ,  G01N2021/035 ,  G01N2021/3595

摘要： The present invention provides a measuring method for measuring characteristics of a specimen (2) to be measured by holding the specimen (2) on an aperture array structure (1) having apertures (10), applying an electromagnetic wave to the aperture array structure (1), and detecting frequency characteristics of the electromagnetic wave reflected by the aperture array structure (1), wherein the measuring method includes the steps of attaching a liquid (3) directly or indirectly to at least a part of a first principal surface that is one of principal surfaces of the aperture array structure (1), and applying the electromagnetic wave from side including a second principal surface that is the other principal surface of the aperture array structure (1), the apertures (10) of the aperture array structure (1) have size not allowing the liquid (3) to leak from the first principal surface side to the second principal surface side, and the liquid (3) is attached to the first principal surface of the aperture array structure (1) in a state opened to an atmosphere under air pressure.

摘要翻译： 本发明提供一种测量方法，用于通过将样本（2）保持在具有孔（10）的孔径阵列结构（1）上，用于测量被测试物（2）的特性，向孔径阵列结构施加电磁波 1），并且检测由孔阵列结构（1）反射的电磁波的频率特性，其中测量方法包括以下步骤：将液体（3）直接或间接地连接到第一主表面的至少一部分 孔阵列结构（1）的主表面之一，并且从包括孔阵列结构（1）的另一个主表面的第二主表面的一侧施加电磁波，孔阵列结构的孔（10） （1）的尺寸不允许液体（3）从第一主表面侧泄漏到第二主表面侧，并且液体（3）附着到第一主表面 孔径阵列结构（1）在空气压力下向大气开放的状态。