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发明公开
DRIVE APPARATUS FOR SUBSTRATE TRANSFER ROBOT HAVING COOLANT CIRCULATING PASSAGE 有权
标题翻译：驱动装置与冷却水流通过基板输送机器人

公开(公告)号：EP1981078A4

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：EP07706698

申请日：2007-01-12

申请人： NABTESCO CORP

发明人： TANGE MAKOTO

IPC分类号： H01L21/677 , B25J9/10 , B25J19/00 , B65G49/06 , B65G49/07 , F16J15/16 , F16J15/32

CPC分类号： B25J19/0054 , B25J9/102 , B65G49/067 , B65G2249/02 , H01L21/67742 , Y10T74/20305 , Y10T74/20317