公开(公告)号：EP1709213A4

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：EP05761083

申请日：2005-01-14

申请人： NANOCOMP TECHNOLOGIES INC

发明人： LASHMORE DAVID S ,  BROWN JOSEPH J ,  DEAN ROBERT C JR ,  ANTOINETTE PETER L

IPC分类号： C30B29/16 ,  B82Y30/00 ,  C01B31/02 ,  C23C16/00 ,  G21H5/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/31

CPC分类号： B82Y40/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  C01B32/162 ,  C01B2202/34 ,  Y10S438/909 ,  Y10S977/70 ,  Y10S977/701 ,  Y10S977/702 ,  Y10S977/844 ,  Y10S977/89 ,  Y10S977/963 ,  Y10T428/249978 ,  Y10T428/2916 ,  Y10T428/2918 ,  Y10T428/298 ,  Y10T442/60 ,  Y10T442/605