公开(公告)号：EP0177566A1

公开(公告)日：1986-04-16

申请号：EP85901788.0

申请日：1985-03-20

申请人： NIXON, Larry Sheldon ,  VICKERS PLC

发明人： SEILER, Dieter, Georg ,  SULWAY, David, Vernon

IPC分类号： G01B11 ,  G01B15 ,  G01B21 ,  G01D18 ,  G01N23 ,  G01Q10 ,  G01Q30 ,  H01J37 ,  H01L21

CPC分类号： H01J37/28 ,  G01B15/00

摘要： Un procédé et un appareil pour effectuer des mesures précises d'un objet ou d'un spécimen (13) sur des distances inférieures au micron comportent un plateau (18) déplaçable sous le contrôle d'un microprocesseur (20). Un instrument, par exemple un microscope électronique à balayage (10), balaye l'object (13) afin d'en obtenir une première représentation par balayage. Le plateau (18) est uensuite déplacé à une distance connue précise avant d'effectuer un second balayage. Les résultats des deux balayages sont mémorisés et comparés par le microprocesseur (20) afin de déterminer l'amplitude apparente du déplacement du plateau en unités arbitraires. On fait alors correspondre cette amplitude apparente à la distance de déplacement précise connue afin de calibrer les unités arbitraires. Le microprocesseur (20) peut ensuite calculer la mesure désirée à partir des données de n'importe lequel des deux balayages stockés dans le microprocesseur.