公开(公告)号：EP2507173B1

公开(公告)日：2017-08-09

申请号：EP10785076.0

申请日：2010-12-02

申请人： Nagarjuna Fertilizers and Chemicals Limited

发明人： AUNER, Norbert ,  BAUCH, Christian ,  HOLL, Sven ,  DELTSCHEW, Rumen ,  MOHSSENI, Javad ,  LIPPOLD, Gerd ,  GEBEL, Thoralf

IPC分类号： C01B33/107

CPC分类号： C01B33/107 ,  C01B33/10773

公开(公告)号：EP3233728A1

公开(公告)日：2017-10-25

申请号：EP14815659.9

申请日：2014-12-15

申请人： Nagarjuna Fertilizers and Chemicals Limited

发明人： BAUCH, Christian ,  HOLL, Sven ,  AUNER, Norbert ,  MOHSSENI, Javad

IPC分类号： C01B33/107 ,  C08G77/00

CPC分类号： C01B33/107 ,  B01D3/009 ,  C01B33/10715 ,  C01B33/10773 ,  C01B33/10778 ,  C08G77/60 ,  C09D1/00 ,  H01L21/02123

摘要： The present invention relates to a method for producing chlorinated oligosilanes, chlorinated polysilane having an empirical formula of SiCl
1.0-2.8 and/or a mixture containing the chlorinated polysilane being reacted with elementary chlorine or a chlorine-containing mixture. The invention further relates to the chlorinated oligosilanes produced by said method and to the use thereof for the manufacture of semiconductors and/or hard coatings.

摘要翻译： 本发明涉及生产氯化低聚硅烷的方法，具有经验式SiCl 1.0-2.8的氯化聚硅烷和/或含氯化聚硅烷与基元氯或含氯混合物反应的混合物。 本发明还涉及通过所述方法生产的氯化低聚硅烷及其在制造半导体和/或硬质涂层中的用途。