RADIATION-SENSITIVE COMPOSITIONS CONTAINING FULLY SUBSTITUTED NOVOLAK POLYMERS
    1.
    发明公开
    RADIATION-SENSITIVE COMPOSITIONS CONTAINING FULLY SUBSTITUTED NOVOLAK POLYMERS 失效
    完全取代线型酚醛树脂聚合物含辐射敏感组合。

    公开(公告)号:EP0490966A1

    公开(公告)日:1992-06-24

    申请号:EP90913690.0

    申请日:1990-09-06

    IPC分类号: G03F7 H01L21

    CPC分类号: G03F7/0236

    摘要: Dans une composition d'agent de réserve comprenant un polymère de novolaque et un photosensibilisateur, l'amélioration est caractérisée par l'emploi d'un polymère de novolaque comprenant le produit de la réaction d'un aldéhyde et d'un mélange de composés phénoliques contenant au moins environ 2 % en poids d'au moins un composé phénolique choisi dans le groupe composé de 2,3,5,-triméthylphénol et 2,3-diméthylphénol ou de mélanges de ceux-ci.