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发明公开
AQUEOUS DEVELOPING SOLUTION AND ITS USE IN DEVELOPING POSITIVE-WORKING PHOTORESIST COMPOSITION 失效
标题翻译：水质发展解决方案及其在开发正式工作光电组合物中的应用

公开(公告)号：EP0394353A4

公开(公告)日：1991-05-02

申请号：EP89901774

申请日：1989-01-04

申请人： OLIN HUNT SPECIALITY PRODUCTS INC.

发明人： WEST, RICHARD, J. , MARCOTTE, STEPHEN, F., JR. , MODAWAR, FARIS

IPC分类号： G03F7/32 , H01L21/30 , G03C5/18 , G03C5/00

CPC分类号： G03F7/322