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发明公开
USE OF PARTICULAR MIXTURES OF ETHYL LACTATE AND METHYL ETHYL KETONE TO REMOVE UNDESIRABLE PERIPHERAL MATERIAL (E.G. EDGE BEADS) FROM PHOTORESIST-COATED SUBSTRATES 失效
标题翻译：使用乙酸乙酯和甲基乙酮的特殊混合物从光电涂层基材中除去不可渗透的外围材料（E.G边缘）

公开(公告)号：EP0394354A4

公开(公告)日：1991-01-16

申请号：EP89901795

申请日：1989-01-04

申请人： OLIN HUNT SPECIALITY PRODUCTS INC.

发明人： SALAMY, THOMAS, E. , LOVE, MARVIN, L., JR. , TOWNER, MARK, E.

IPC分类号： B05D1/40 , B05D3/10 , G03F7/16 , H01L21/027 , G03C1/76 , B05D3/12

CPC分类号： G03F7/162