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发明公开
GAS INJECTION SYSTEM FOR ENERGETIC-BEAM INSTRUMENTS 审中-公开
标题翻译：食品科技有限公司FÜRINSTRUMENTE MIT ENERGETISCHEM STRAHL

公开(公告)号：EP2872669A4

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：EP13817088

申请日：2013-04-15

申请人： OMNIPROBE INC

发明人： KRUGER ROCKY , SMITH AARON , HARTFIELD CHERYL

IPC分类号： H01J37/02 , C23C16/448 , C23C16/48 , C23C16/52 , C23C16/56

CPC分类号： H01J37/08 , C23C16/448 , C23C16/48 , C23C16/52 , C23C16/56 , G01N1/28 , H01J37/02 , H01J2237/006 , H01J2237/317 , Y10T137/0329 , Y10T137/0352