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发明公开
DEPOSITION PROCESSES USING GROUP 8 (VIII) METALLOCENE PRECURSORS 有权
标题翻译：使用第8（Ⅷ）类金属茂制剂的分离方法

公开(公告)号：EP1556527A4

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：EP03810818

申请日：2003-10-30

申请人： PRAXAIR TECHNOLOGY INC

发明人： THOMPSON DAVID M , HOOVER CYNTHIA A , PECK JOHN D , LITWIN MICHAEL M

IPC分类号： C07F17/02 , C23C16/18 , C23C16/40 , C23C16/455

CPC分类号： C23C16/406 , C07F17/02 , C23C16/18 , C23C16/40 , C23C16/45553