公开(公告)号：EP1306681A2

公开(公告)日：2003-05-02

申请号：EP02102220.7

申请日：2002-08-27

申请人： Philips Corporate Intellectual Property GmbH ,  Koninklijke Philips Electronics N.V.

发明人： Schäfer, Martin ,  Wichern, Andreas

IPC分类号： G01R31/30

CPC分类号： H01L22/34 ,  G01R31/3275

摘要： Bei einem Verfahren und einer Anordnung zur Ermittlung des Hochfrequenzverhaltens von aktiven Schaltungselementen in auf einer Substratscheibe befindlichen Schaltungen, wobei stellvertretend für die aktiven Schaltungselemente in den Schaltungen aktive Schaltungselemente in ebenfalls auf der Substratscheibe befindlichen Prozeßkontrollmodulen benutzt werden, wird die Schwingfrequenz von in den Prozeßkontrollmodulen enthaltenen aus aktiven Schaltungselementen aufgebauten Ringoszillatoren gemessen und ausgewertet.

摘要翻译： 一种用于有源电路元件，其中，在所述电路光盘或晶片上的过程控制模块有源电路元件被用于有源电路元件的确定性采矿HF行为的方法。 包含在所述过程的测试模块，并从有源电路元件构成的环形振荡器的振荡频率，进行测量和评价。 一种独立claimsoft给出了在布置用于确定性采矿位于基底光盘上电路的晶体管的RF行为。

公开(公告)号：EP1306681A3

公开(公告)日：2004-03-03

申请号：EP02102220.7

申请日：2002-08-27

申请人： Philips Intellectual Property & Standards GmbH ,  Koninklijke Philips Electronics N.V.

发明人： Schäfer, Martin ,  Wichern, Andreas

IPC分类号： G01R31/30 ,  G01R31/316 ,  G01R31/27

CPC分类号： H01L22/34 ,  G01R31/3275

摘要： Bei einem Verfahren und einer Anordnung zur Ermittlung des Hochfrequenzverhaltens von aktiven Schaltungselementen in auf einer Substratscheibe befindlichen Schaltungen, wobei stellvertretend für die aktiven Schaltungselemente in den Schaltungen aktive Schaltungselemente in ebenfalls auf der Substratscheibe befindlichen Prozeßkontrollmodulen benutzt werden, wird die Schwingfrequenz von in den Prozeßkontrollmodulen enthaltenen aus aktiven Schaltungselementen aufgebauten Ringoszillatoren gemessen und ausgewertet.