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    Verfahren zur Herstellung von erdalkalimetallhaltigen oxidischen Materialien und damit hergestellte Spulen
    1.
    发明公开
    Verfahren zur Herstellung von erdalkalimetallhaltigen oxidischen Materialien und damit hergestellte Spulen 失效
    生产含碱性碱土和/或氧化物碱的材料的方法

    公开(公告)号：EP0403005A3

    公开(公告)日：1992-03-04

    申请号：EP90201489.3

    申请日：1990-06-11

    申请人： Philips Patentverwaltung GmbH ,  Philips Electronics N.V.

    发明人： Gärtner, Georg, Dr. ,  Van Hal, Henricus Albertus Maria

    IPC分类号： C23C16/50 ,  H01F6/06

    CPC分类号： H01L39/2441 ,  C23C16/404 ,  C23C16/408 ,  C23C16/5093

    摘要： Bei der Herstellung von erdalkalimetallhaltigen und/oder erdalkalimetalloxidhaltigen Materialien, insbesondere von Hochtemperatursupraleitern (HT c SL), aber auch von Erdalkali-Nachlieferungskathoden, durch plasmaaktivierte reaktive Abscheidung aus der Gasphase (PCVD), wobei mindestens eine metallorganische (MO) Verbindung der Erdalkalimetalle in die Gasphase überführt wird, werden die MO-Verbindungen der Erdalkalimetalle aus jeweils einem Niederdruck-Feststoffverdampfer mittels eines ein Inertgas und/oder ein oxidierendes Gas enthaltenden Trägergases in ein Entladungsgefäß überführt. In dem Entladungsgefäß wird ein Gesamtdruck im Bereich von 0,1 bis 50 hPa eingestellt und es wird ein Plasma (5) erzeugt, wobei wiederholt-­intermittierend zur plasmaaktivierten Abscheidung aus einer die MO-Verbindungen und das oxidierende Gas als reaktive Gase und das Inertgas enthaltenden Phase eine Argon/Sauerstoff-Zwischenbehandlung durchgeführt wird.

    Method of manufacturing a dispenser cathode and the use of the method
    4.
    发明公开
    Method of manufacturing a dispenser cathode and the use of the method 失效
    制造分配器阴极的方法和该方法的用途

    公开(公告)号：EP0200276A1

    公开(公告)日：1986-12-10

    申请号：EP86200730.9

    申请日：1986-04-29

    申请人： Philips Electronics N.V.

    发明人： Van Esdonk, Johannes ,  Van Hal, Henricus Albertus Maria ,  Van Lith, Josef Johannes

    IPC分类号： H01J1/28 ,  H01J1/14 ,  H01J9/04

    摘要： The invention relates to a method of manufacturing a dispenser cathode having a porous tungsten body, in which a metal oxide is provided in the body and the body is impregnated with barium. Good results as regards life and resistance to ion bombardment are obtained if the comparatively cheap oxides of gallium and indium are used.

    摘要翻译： 本发明涉及一种制造具有多孔钨体的分配器阴极的方法，其中在主体中提供金属氧化物并且主体用钡浸渍。 如果使用比较便宜的镓和铟氧化物，则可获得关于寿命和抗离子轰击的良好结果。

    Verfahren zur Herstellung von erdalkalimetallhaltigen oxidischen Materialien und damit hergestellte Spulen
    6.
    发明公开
    Verfahren zur Herstellung von erdalkalimetallhaltigen oxidischen Materialien und damit hergestellte Spulen 失效
    一种制备碱土金属和/或erdalkalimetalloxidhaltigen材料的过程。

    公开(公告)号：EP0403005A2

    公开(公告)日：1990-12-19

    申请号：EP90201489.3

    申请日：1990-06-11

    申请人： Philips Patentverwaltung GmbH ,  Philips Electronics N.V.

    发明人： Gärtner, Georg, Dr. ,  Van Hal, Henricus Albertus Maria

    IPC分类号： C23C16/50 ,  H01F6/06

    CPC分类号： H01L39/2441 ,  C23C16/404 ,  C23C16/408 ,  C23C16/5093

    摘要： Bei der Herstellung von erdalkalimetallhaltigen und/oder erdalkalimetalloxidhaltigen Materialien, insbesondere von Hochtemperatursupraleitern (HT c SL), aber auch von Erdalkali-Nachlieferungskathoden, durch plasmaaktivierte reaktive Abscheidung aus der Gasphase (PCVD), wobei mindestens eine metallorganische (MO) Verbindung der Erdalkalimetalle in die Gasphase überführt wird, werden die MO-Verbindungen der Erdalkalimetalle aus jeweils einem Niederdruck-Feststoffverdampfer mittels eines ein Inertgas und/oder ein oxidierendes Gas enthaltenden Trägergases in ein Entladungsgefäß überführt. In dem Entladungsgefäß wird ein Gesamtdruck im Bereich von 0,1 bis 50 hPa eingestellt und es wird ein Plasma (5) erzeugt, wobei wiederholt-­intermittierend zur plasmaaktivierten Abscheidung aus einer die MO-Verbindungen und das oxidierende Gas als reaktive Gase und das Inertgas enthaltenden Phase eine Argon/Sauerstoff-Zwischenbehandlung durchgeführt wird.

    摘要翻译： 在生产由气相含碱土金属和/或碱土金属氧化物，尤其是高温超导体（HTcSC），以及碱土金属储备式阴极，由等离子体活化反应性蒸镀材料（PCVD） 碱土金属中的至少一种有机金属（OM）化合物被转化为气相，碱土金属的OM化合物分别由低压固体蒸发器转移，通过含有惰性气体的载气的手段和 /或氧化气体，进入的放电管。 在放电容器中，在范围为0.1至50百帕的总压力被建立和等离子体（5）在中间氩气/氧气处理产生被重复和间歇地实现等离子体激活的沉积从含有OM的化合物的相 和氧化气体作为反应性气体和惰性气体。