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1.发明公开Method of producing layers of ferrimagnetic garnet substituted by bismuth 失效生产由BISMUTH取代的FERRIMAGNIC GARNET层的方法
公开(公告)号：EP0167213A3
公开(公告)日：1988-05-04
申请号：EP85201046
申请日：1985-07-01
CPC分类号： C23C14/08 , H01F10/245 , H01F41/186
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2.发明授权Verfahren zur Herstellung Wismut-substituierter ferrimagnetischer Granatschichten 失效生产由BISMUTH取代的FERRIMAGNE GARNET层的方法
公开(公告)号：EP0167213B1
公开(公告)日：1991-05-15
申请号：EP85201046.1
申请日：1985-07-01
CPC分类号： C23C14/08 , H01F10/245 , H01F41/186
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3.发明公开Verfahren zur Herstellung Wismut-substituierter ferrimagnetischer Granatschichten 失效Verfahren zur Herstellung Wismut-substitutionierter ferrimagnetischer Granatschichten。
公开(公告)号：EP0167213A2
公开(公告)日：1986-01-08
申请号：EP85201046.1
申请日：1985-07-01
CPC分类号： C23C14/08 , H01F10/245 , H01F41/186
摘要： Verfahren zur Herstellung Wismut-substituierter ferrimagnetischer Granatschichten durch Hf-Kathodenzerstäubung unter Einsatz eines Targets, daß die am Schichtaufbau beteiligten Elemente enthält in Form von Oxiden und Wismut in Form einer Oxidverbindung mit bestimmter Stöchiometrie, in der Wismut und mindestens ein am Schichtaufbau beteiligtes Element mit einer deutlich unter der Zerstäubungsrate für Wismut liegenden Zerstäubungsrate auf festen Gitterplätzen eingebaut ist. Von Vorteil ist der Einsatz einer Magnetron-Kathode.
摘要翻译： 这些层通过HF-阴极溅射使用包含以氧化物和铋的形式的层结构中涉及的元素的目标产生，所述氧化物和铋以具有限定的化学计量的氧化物化合物的形式，其中铋和至少一种元素 层状结构并且具有显着低于铋的溅射速率的掺杂在固定晶格点上。 使用磁控管阴极是有利的。
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